по запросу
AZ® 1500 Series
Технические характеристики (Eng)
Номинальный минимальный размер элемента: 0,350 мкм Доза облучения для 0,25 мкм — 165 мДж/см2 Доза облучения для 0,40 мкм — 245 мДж/см2 Толщина слоя фоторезиста: от 0,7 до 2,3 мкм Температура сушки: 90-100 град Цельсия Время сушки: 90 сек
Рекомендуемые проявители: MF-501 (0,24N), MF CD-26 (0,26N) Упаковка: темное стекло
Registration is free and easy!