Пелликл — это пленка, служащая для защиты топологического рисунка хромового фотошаблона от возможных дефектов (загрязнений в виде частиц), обычно наносится на тонкие фотошаблоны с обеих сторон.
Пелликл — это пленка, служащая для защиты топологического рисунка хромового фотошаблона от возможных дефектов (загрязнений в виде частиц), обычно наносится на тонкие фотошаблоны с обеих сторон.