Номинальный минимальный размер элемента: 0,350 мкм
Доза облучения для 0,25 мкм — 165 мДж/см2
Доза облучения для 0,40 мкм — 245 мДж/см2
Толщина слоя фоторезиста: от 0,7 до 2,3 мкм
Температура сушки: 90-100 град Цельсия
Время сушки: 90 сек
Рекомендуемые проявители: MF-501 (0,24N), MF CD-26 (0,26N)
Упаковка: темное стекло