Loading...

Пластины хромированные фоторезистовые (ПХФ) 102х102, 127х127, 152х152

по запросу

Материал подложки Щелочное стекло Кварц
Размеры, мм 102 х 102 127 х 127 152 х 152
Толщина, мм 2,2 ÷ 2,6 3,0 ÷ 0,5 3,0 ÷ 0,5 2,2 ÷ 2,4 2,95 ÷ 3,15 6,25 ÷ 6,45
Отклонение от плоскостности, мкм 2, 5, 10
ТКЛР, град-1 80 • 10-7 7,5 • 10-7
Маскирующий слой хром, окись хрома
Оптическая плотность, отн.ед., λ - 450 нм 3,2 ± 0,2
Коэффициент отражения, % λ - 436 нм > 40 25 ÷ 40 10 ÷ 25
Толщина маскирующего слоя, Å хром 500 ÷ 700 хром, окись хрома 1000 ÷1200
Проколы в маскирующем слое, см 0,1; 0,05; 0,02 0,05; 0,02
* Тип резиста Фоторезист (S - 1815 и др.)
* Толщина пленки резиста, мкм 0,3 ÷ 1,0

Список

close