Loading...

Азотные лазеры серии ЛГИ

по запросу

,

Вследствие неблагоприятного соотношения вероятностей радиационного распада рабочих уровней молекулы азота инверсию, т.е. генерацию на рассматриваемых проходах можно получить только в нестационарном (импульсном) режиме на фронте импульса возбуждения. Таким образом, азотные лазеры, является лазером на самоограниченных переходах.

Азотный лазер ЛГИ-511 превосходно зарекомендовал себя в установках микроэлектроники. Короткая длина волны позволяет сфокусировать излучение в пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей микрометров, к тому же максимум чувствительности многих типов фоторезиста, применяемых в микроэлектронике, лежит в этой области.

Параметры ЛГИ-505 ЛГИ-511
Длина волны излучения, мкм 0.337 0.337
Энергия импульса излучения, мкДж 120 240
Средняя мощность излучения, мВт 120 240
Размер пучка излучения на уровне 0.1, мм (не более) 1.5 5
Спектральный состав излучения TEMmn TEMmn
Частота повторения импульсов, Гц 5-1000 1 — 1000
Длительность импульса на уровне 0.5, не 6-8
Габариты, мм, не более 1140x525x345 1140x525x345
Масса, кг, не более 105 105
Питание, В 220 220
Потребляемая мощность, Вт, не более 1500
Охлаждение водяное, расход воды 1.5 — 2 л/мин водяное, расход воды 1.5 — 2 л/мин
Температура эксплуатации, °С 0…+40 0…+40
Гарантийная наработка, ч 500 500

 

Список

close