Loading...

ВК 100-1 — подложки алюмооксидные Al2O3 99,7% (корундовые)

по запросу

Подложки изготовленные из корундового материала ВК 100-1 (Al2O3 — 99,7%), предназначенные для тонкоплночных интегральных схем.

 

В зависимости от обработки поверхности подложки делятся на виды:

— подложки с односторонней полировкой — ПК1;

— подложки с двухсторонней полировкой — ПК2.

Условное обозначение изделия при заказе и в конструкторской документации должно состоять из наименования изделия, вида обработки поверхности подложки, чертежа и технических условий:

Подложка ПК1 Ще7.817.000-25 по ТУ 6366-000-07593894-2013.

 

Примечание: Технические условия 6366-000-07593894-2013 введены 01.04.2014 г. взамен Ще0.781.000 ТУ.

 

Наименование характеристик

ВК 100-1

Содержание Al2O3 99,7
Водопоглощение, % не более 0,02
Кажущаяся плотность, кг/м3 3960±20
Предел прочности на изгиб, кгс/см2 (МПа) 3200 (313,8)
Температурный коэффициент линейного расширения в интервале температур 20..900°С, К-1 (8±0,5)*10-6
Диэлектрическая проницаемость в диапазоне частот 8-10 ГГц и при температуре 20±5°С 9,7±0,25
Тангенс угла диэлектрических потерь, 10 ГГц 20°С 1*10-4
Удельное объёмное электрическое сопротивление при 150±5°С, Ом*см 2*1014
Теплопроводность λ, Вт/(м*К) 30
Шероховатость полированной поверхности, Rz, мкм 0,100
Шероховатость второй полированной поверхности, Rа, мкм 0,040
Шероховатость рабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм -
Шероховатость нерабочей шлифованной поверхности, Rz, мкм 1,6

Список

close